[发明专利]可挠性基板的搬送装置及显示元件或电子电路的制造系统有效
| 申请号： | 201280003198.8 | 申请日： | 2012-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN103153830A | 公开（公告）日： | 2013-06-12 |
| 发明（设计）人： | 浜田智秀;木内彻 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | B65H23/032 | 分类号： | B65H23/032 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 任默闻 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 具有形成为带状、具有可挠性的基板(S)的搬送装置(1)，其具有：供应滚筒(5b)，送出基板(S)；回收滚筒(6b)，卷取基板(S)；以及驱动部(8)，将供应滚筒(5b)与回收滚筒(6b)驱动于相对从基板(S)的运送方向交叉的方向(X，Z)。供应滚筒(5b)被导引于第一轨(3)，回收滚筒(6b)被导引于第二轨(4)。轨驱动机构(7)变更两滚筒(5b，6b)间的间隔。配置于轨(3，4)间的处理部(PA)，对树脂或不锈钢制的基板(S)进行成膜、曝光、洗净等处理。处理部(PA)，沿轨(3，4)配置有多个。通过以多个处理部(PA)依序处理沿两滚筒(5b，6b)与轨(3，4)被运送的基板(S)，于基板(S)上形成有机EL元件。 | ||
| 搜索关键词： | 可挠性基板 装置 显示 元件 电子电路 制造 系统 | ||
【主权项】：
一种搬送装置，其具备：供应滚筒，送出形成为带状且具有可挠性的基板；回收滚筒，卷取从前述供应滚筒送出的前述基板；以及驱动部，将前述供应滚筒与前述回收滚筒驱动于相对从前述供应滚筒往前述回收滚筒的前述基板的运送方向交叉的方向。
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