[发明专利]有机EL元件的制造方法和制造装置有效
| 申请号： | 201280003847.4 | 申请日： | 2012-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN103283307A | 公开（公告）日： | 2013-09-04 |
| 发明（设计）人： | 垣内良平;山本悟;肥田加奈子 | 申请（专利权）人： | 日东电工株式会社 |
| 主分类号： | H05B33/10 | 分类号： | H05B33/10;C23C14/24;H01L51/50 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种不需要以往那样的带状的阴影掩模、但也能够将来自蒸镀源的气化材料以期望的图案蒸镀到基材上的有机EL元件的制造方法和制造装置。遮蔽部（51）构成为能够被切换到如下位置：配置在蒸镀源（4）和基材（81）之间来遮蔽基材（81）的遮蔽位置和自蒸镀源（4）和基材（81）之间退避来解除对基材（81）的遮蔽的遮蔽解除位置。并且，遮蔽部（51）一边与辊（3）一起旋转，一边被切换到遮蔽位置和遮蔽解除位置。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 el 元件 制造 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种有机EL元件的制造方法，其特征在于，该制造方法包括如下工序：以使带状的基材与辊相接触的方式输送带状的基材的输送工序；通过自蒸镀源喷出气化材料，从而使上述气化材料蒸镀到上述基材的规定部位的工序；以及在蒸镀上述气化材料时，为了防止上述气化材料蒸镀到除了上述规定部位之外的部位，将用于遮蔽上述基材的遮蔽部配置在上述蒸镀源和上述基材之间的工序，上述遮蔽部构成为能够被切换到如下位置：配置在上述蒸镀源和上述基材之间来遮蔽上述基材的遮蔽位置和自上述蒸镀源和上述基材之间退避来解除对上述基材的遮蔽的遮蔽解除位置，上述遮蔽部一边与上述辊一起旋转，一边被切换到上述遮蔽位置与上述遮蔽解除位置。
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