[发明专利]用于在复杂图案化结构中进行测量的方法和系统

摘要

本发明公开一种在复杂图案化结构中进行测量的方法和系统。为结构中的相同测量部位提供完整模型和至少一个近似模型，所述至少一个近似模型满足在完整模型和近似模型之间的关系由预定函数确定的条件。为由近似模型对近似模型的整个参数空间计算出的模拟数据创建库。还提供在所述参数空间的所选点中与由完整模型计算出的模拟数据对应的数据。近似模型数据的库和完整模型的所述数据被用于创建所述参数空间的校正项的值的库，所述校正项被确定为完整模型和近似模型之间的关系的所述预定函数。这使得能够通过将测量数据拟合到模拟数据来处理所述测量数据，该模拟数据通过由校正项的对应值校正的近似模型来计算。

主权项

一种用于在复杂图案化结构中进行测量的方法，所述方法包括：为图案化结构中的相同测量部位提供完整模型和至少一个近似模型，其中，所述至少一个近似模型中的每个是由参数集定义的，所述完整模型包括所述至少一个近似模型的所述参数集以及额外参数，其中，所述参数集包括所述图案化结构的参数和/或来自所述图案化结构的响应的参数/条件；所述至少一个近似模型满足所述完整模型和所述近似模型之间的关系通过预定函数定义的条件；为通过所述近似模型对所述近似模型的整个参数空间计算出的模拟数据创建库；确定通过所述完整模型计算出的对应于所述近似模型的所述参数空间的选择点的稀疏模拟数据；利用所述近似模型的所述模拟数据的所述库和所述完整模型的所述稀疏模拟数据，并且创建对应于所述近似模型的所述参数空间的校正项的值的库，所述校正项被确定为所述完整模型和所述近似模型之间的关系的所述预定函数，由此能够通过将测量数据拟合到通过所述校正项的相应值校正的、所述近似模型计算出的模拟数据来处理所述测量数据。