[发明专利]被成膜基板和有机EL显示装置

摘要

一种TFT基板（10），利用蒸镀装置（50）在TFT基板（10）上形成蒸镀层，蒸镀装置（50）具有：具备射出口（86）的蒸镀源（85）；和具备从射出口（86）射出的蒸镀颗粒通过的开口部（82）的蒸镀掩模（81），蒸镀颗粒通过开口部（82）被蒸镀而形成蒸镀层，TFT基板（10）具有二维地排列有多个像素的像素区域（AG），与各像素电连接的多条配线（14）的端子汇集到蒸镀层的形成区域外。

主权项

一种被成膜基板，利用蒸镀装置在该被成膜基板上形成蒸镀层，所述蒸镀装置具有：具备用于射出蒸镀颗粒的射出口的蒸镀源；和与所述蒸镀源相对配置、且具备从所述射出口射出的蒸镀颗粒通过的开口部的蒸镀掩模，所述蒸镀颗粒通过所述开口部被蒸镀而形成所述蒸镀层，所述被成膜基板的特征在于：具有在像素区域二维地排列的多个像素和与各像素电连接的多条配线，通过使该被成膜基板相对于所述蒸镀掩模在一个方向上相对移动使得所述像素区域通过与所述开口部相对的区域，同时从所述射出口射出所述蒸镀颗粒，在包含所述像素区域的所述蒸镀层的形成区域形成所述蒸镀层，所述多条配线的各端子汇集到所述蒸镀层的形成区域外。