[发明专利]用于提供超纯水的方法和系统有效
| 申请号： | 201280005584.0 | 申请日： | 2012-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN103827040A | 公开（公告）日： | 2014-05-28 |
| 发明（设计）人： | B.L.库尔特 | 申请（专利权）人： | 伊沃夸水处理技术有限责任公司 |
| 主分类号： | C02F1/00 | 分类号： | C02F1/00 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 汤慧华;郑霞 |
| 地址： | 美国乔*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供了一种用于为半导体制作操作提供超纯水的方法和系统。通过利用自由基清除系统和自由基除去系统对水进行处理。自由基清除系统可以利用借助自由基原始化合物（诸如过硫酸铵）的光化辐射。自由基除去系统可以包括对还原剂的使用。可以通过利用离子交换介质和除气装置来对超纯水进一步进行处理。可以利用控制系统来调整原始化合物的添加、光化辐射的强度以及还原剂向水的添加。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 提供 超纯水 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种用于处理水的系统，其包括：初级光化辐射反应器；过硫酸盐原始化合物源，其被布置成把至少一种过硫酸盐原始化合物引入到所述初级光化辐射反应器中；总有机碳（TOC）浓度传感器，其位于所述初级光化辐射反应器的上游；过硫酸盐浓度传感器，其位于所述初级光化辐射反应器的下游；还原剂源，其被布置成在所述初级光化辐射反应器的下游引入至少一种还原剂；还原剂浓度传感器，其位于所述至少一种还原剂的添加点的下游；以及控制器，其操作上被耦合成接收来自所述TOC浓度传感器、所述过硫酸盐浓度传感器和所述还原剂浓度传感器中的至少一个的至少一个输入信号并且生成至少一个控制信号，所述至少一个控制信号调整以下各项之一：过硫酸盐原始化合物被引入到初级光化辐射反应器中的速率、所述初级光化辐射反应器中的光化辐射的强度、以及还原剂被引入到所述系统的速率。
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