[发明专利]被成膜基板、有机EL显示装置

摘要

在利用蒸镀装置（50）形成有蒸镀部的TFT基板（10）中，蒸镀装置（50）包括具有射出口（86）的蒸镀源（85）和具有开口部（82）的蒸镀掩模（81），蒸镀颗粒经开口部（82）被蒸镀而形成蒸镀部，TFT基板（10）具有在像素区域（AG）二维排列的像素和与各像素电连接的配线（14），相互隔着间隙（X）地形成有多个蒸镀部（Q），配线（14）的各端子配置于间隙（X）。

主权项

一种被成膜基板，其利用蒸镀装置形成有蒸镀部，所述蒸镀装置具有：具备用于射出蒸镀颗粒的射出口的蒸镀源；和与所述蒸镀源相对配置、且具备从所述射出口射出的蒸镀颗粒通过的多个开口部的蒸镀掩模，所述蒸镀颗粒经所述开口部被蒸镀而形成所述蒸镀部，所述被成膜基板的特征在于：所述被成膜基板具有在像素区域二维地排列的多个像素和与各像素电连接的多个配线，以所述像素区域通过与所述开口部相对的区域的方式，使该被成膜基板相对于所述蒸镀掩模在一个方向上相对移动，并且从所述射出口射出所述蒸镀颗粒，由此，在包含所述像素区域的区域相互隔着间隙地形成多个蒸镀部，所述多个配线的各端子配置于所述间隙。