[发明专利]底层涂料组合物及制造微电子器件的方法有效
| 申请号： | 201280005810.5 | 申请日： | 2012-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN103370653A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 姚晖蓉;Z·博格斯;林观阳;M·O·奈瑟 | 申请（专利权）人： | AZ电子材料美国公司 |
| 主分类号： | G03F7/09 | 分类号： | G03F7/09 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 孙悦 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及包括聚合物的底层涂料组合物，其中该聚合物包含在该聚合物主链中的至少一个具有包含氟或碘部分的侧基的羟基芳香族单元和至少一个包含氨基塑料的单元。本发明还涉及使用该组合物形成图像的方法，尤其用于EUV。 | ||
| 搜索关键词： | 底层 涂料 组合 制造 微电子 器件 方法 | ||
【主权项】：
底层涂料组合物，其包含聚合物，其中该聚合物包含在该聚合物主链中的至少一个包含氟或碘部分的羟基芳香族单元，和至少一个包含氨基塑料的单元。
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