[发明专利]用于制造用于证实分析物的装置的方法以及装置及其应用有效
申请号: | 201280008324.9 | 申请日: | 2012-01-17 |
公开(公告)号: | CN103477218A | 公开(公告)日: | 2013-12-25 |
发明(设计)人: | E·克特尔亨;M·班策特;B·霍夫曼;D·迈耶;A·奥芬霍伊泽;B·沃尔夫鲁姆 | 申请(专利权)人: | 于利奇研究中心有限公司 |
主分类号: | G01N27/327 | 分类号: | G01N27/327 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 杜荔南;刘春元 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 公开了一种用于制造用于证实分析物的装置的方法,该方法具有下列步骤:a)在绝缘衬底上布置具有电极功能的第一导体线路,b)在所述导体线路上布置第一钝化层,c)将所述钝化层限于局部地打开,使得导体线路限于局部地被露出,d)在开口中将牺牲层布置在所述导体线路上,e)在牺牲层上布置电极,f)将第二导体线路与第一导体线路正交地布置,其中第二导体线路接触电极,g)将第二钝化层布置在所述电极上以及第二导体线路上,h)将第二钝化层和电极打开,使得牺牲层被露出,i)除去牺牲层。同样公开了一种相应构造的装置及其应用。 | ||
搜索关键词: | 用于 制造 证实 分析 装置 方法 以及 及其 应用 | ||
【主权项】:
用于制造用于证实分析物的装置的方法,该方法具有下列步骤:a)在绝缘衬底(1)上布置具有电极功能的第一导体线路(2),b)在所述导体线路上布置第一钝化层(3),c)将所述钝化层限于局部地打开,使得导体线路(2)限于局部地被露出,d)在开口中将牺牲层(4)布置在所述导体线路上, e)在牺牲层上布置电极(5), f)将第二导体线路(6)与第一导体线路(2)正交地布置,其中第二导体线路(6)接触电极(5),g)将第二钝化层(7)布置在所述电极上以及第二导体线路上,h)将第二钝化层(7)和电极(5)打开,使得牺牲层(4)被露出,i)除去牺牲层(4)。
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