[发明专利]真空泵、真空排气装置及真空泵的运转控制方法

摘要

本发明提供一种在不会发生失调、能够实现稳定的排气动作的真空泵、真空排气装置及真空泵的运转控制方法。真空泵具有：转子（21、22）；驱动马达（35）；磁耦合机构（50），其以第1阈值（Th1）以下的转动扭矩向所述转子传递所述驱动马达的转动力。该真空泵的运转控制方法为：当所述负载扭矩为比所述第1阈值（Th1）小的第2阈值（Th2）以下时，增大所述驱动马达（35）的转速，当所述负载扭矩超过所述第2阈值（Th2）且为所述第1阈值（Th1）以下时，减小所述驱动马达（35）的转速。

主权项

一种真空泵，具有泵体部、驱动部、磁耦合机构、控制器，其特征在于，所述泵体部具有：泵室，其具有进气口和排气口；转子，其配置在所述泵室中，用于将气体由所述进气口向所述排气口进行输送，所述驱动部具有：马达室，其邻接所述泵室；驱动马达，其配置在所述马达室中，用于驱动所述转子转动，所述磁耦合机构具有：分隔部件，其用于划分所述泵室和马达室且使两者保持气密性；第1磁体，其安装在所述转子上；第2磁体，其安装在所述驱动马达上，通过所述分隔部件与所述第1磁体磁性连接，所述磁耦合机构以第1阈值以下的转动扭矩向所述转子传递所述驱动马达的转动力，所述控制器具有：检测部，其用于检测所述驱动马达的负载扭矩；转动控制部，其用于控制所述驱动马达的转速，当所述负载扭矩为比所述第1阈值小的第2阈值以下时，所述控制器使所述驱动马达的转速增大，当所述负载扭矩超过所述第2阈值且为所述第1阈值以下时，所述控制器使所述驱动马达的转速减小。