[发明专利]静电夹具、光刻设备和器件制造方法有效
| 申请号： | 201280012836.2 | 申请日： | 2012-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN103415812A | 公开（公告）日： | 2013-11-27 |
| 发明（设计）人： | E·布瑞克霍夫;J·拜克斯;A·斯本;J·戴门 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张启程 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 一种用于将物体(W)保持在支撑台(WT)上的静电夹具(10)，所述静电夹具包括：多层膜(200)，包括限定在导电层中(230)的电极，所述导电层定位在电绝缘层(210、220)之间。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 夹具 光刻 设备 器件 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种用于将物体保持在支撑台上的静电夹具，所述静电夹具包括：多层膜，所述多层膜包括限定在导电层中的电极，所述导电层定位在电绝缘层之间。
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