[发明专利]表面平坦化有效
| 申请号： | 201280015328.X | 申请日： | 2012-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN103443709A | 公开（公告）日： | 2013-12-11 |
| 发明（设计）人： | A·弗莱斯纳;S·马里克;C·贝克;L·斯卡利恩;J·波罗格斯 | 申请（专利权）人： | 剑桥显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L51/00;B05D5/08;H01L21/768 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 李晓芳 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 本发明一般地涉及基板的表面的平坦化。在平坦化基板的表面区域的实施例中，该基板具有在所述表面区域的一部分上的主体，该方法包括：通过提供表面使更改层（例如，在其上的自组装单层）来使所述主体的表面相对液体平坦化剂合成物的润湿性更改；并且然后将所述液体平坦化剂合成物沉积于所述基板和所述主体上，使得平坦化剂合成物润湿所述表面区域，其中所述表面更改层确定所述液体平坦化剂合成物与所述主体的所述表面的接触角，使得沉积的液体平坦化剂合成物被所述主体的所述表面排斥。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 平坦 | ||
【主权项】：
一种用于平坦化基板的表面区域的方法，所述基板具有在所述表面区域的一部分上的主体，所述方法包括：更改所述主体的表面相对液体平坦化剂合成物的润湿性；并且然后将所述液体平坦化剂合成物沉积于所述基板上使得所述平坦化剂合成物润湿所述基板的所述表面区域，其中所述更改确定所述液体平坦化剂合成物与所述主体的所述表面的接触角，使得所述沉积的液体平坦化剂合成物被所述主体的所述表面排斥。
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