[发明专利]半导体散热板用Mo烧结部件以及使用该Mo烧结部件的半导体装置在审
申请号: | 201280015801.4 | 申请日: | 2012-03-19 |
公开(公告)号: | CN103443314A | 公开(公告)日: | 2013-12-11 |
发明(设计)人: | 森冈勉;青山齐 | 申请(专利权)人: | 株式会社东芝;东芝高新材料公司 |
主分类号: | C22C27/04 | 分类号: | C22C27/04;C22C1/04;C22C9/00;H01L23/373 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 刘凤岭;陈建全 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及一种半导体散热板用Mo烧结部件,其由含有10~50质量%铜的钼合金材料构成,其特征在于:所述钼合金材料的钼晶体的平均粒径为10~100μm,每500μm×500μm单位面积的Mo晶体的面积比的偏差在平均值的±10%以内。由于Mo和Cu的存在比例的偏差较小,因而可以得到热膨胀率等特性优良、且热膨胀率、强度等优良的半导体散热板用Mo烧结部件。 | ||
搜索关键词: | 半导体 散热 mo 烧结 部件 以及 使用 装置 | ||
【主权项】:
一种半导体散热板用Mo烧结部件,其由含有10~50质量%铜的钼合金材料构成,其特征在于:所述钼合金材料的钼晶体的平均粒径为10~100μm,每500μm×500μm单位面积的Mo晶体的面积比的偏差在平均值的±10%以内。
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