[发明专利]具有凹凸结构的基板的制造方法及使用该基板的有机EL元件的制造方法有效
| 申请号： | 201280016402.X | 申请日： | 2012-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN103460084A | 公开（公告）日： | 2013-12-18 |
| 发明（设计）人： | 佐藤祐辅;西村凉 | 申请（专利权）人： | 吉坤日矿日石能源株式会社 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G02B5/02;G09F9/30;H01L27/32;H01L51/50;H05B33/02;H05B33/10 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 王海川;穆德骏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 用于制造具有用于散射光的不规则的凹凸表面的基板的方法包括如下步骤：制作具有不规则的凹凸表面的基板(100)；从相对于法线方向倾斜的方向对所制作的基板的凹凸表面(100a)照射检查光(122a)，并利用设置在凹凸表面的法线方向上的受光元件(124)检测从凹凸表面返回的光；利用处理装置(126)根据接收到的光强度判定所述凹凸表面的亮度不均。以高产量生产具备具有不规则的凹凸表面的衍射光栅基板的有机EL元件。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 凹凸 结构 制造 方法 使用 有机 el 元件 | ||
【主权项】：
一种基板的制造方法，用于制造具有用于散射光的不规则的凹凸表面的基板，其中，包括如下步骤：制作所述具有不规则的凹凸表面的基板；从相对于该凹凸表面的法线方向倾斜的方向对所述制作的基板的凹凸表面照射检查光，并利用设置在所述凹凸表面的法线方向上的受光元件检测该检查光的从所述凹凸表面返回的光；以及根据接收到的光强度判定所述凹凸表面的亮度不均。
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