[发明专利]研磨剂及研磨方法无效
| 申请号： | 201280017990.9 | 申请日： | 2012-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN103459089A | 公开（公告）日： | 2013-12-18 |
| 发明（设计）人： | 吉田有衣;吉田伊织;竹宫聪 | 申请（专利权）人： | 旭硝子株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;B24B37/20;C09K3/14;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 王海川;穆德骏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种研磨剂，用于对研磨对象物的被研磨面进行研磨，其中，含有平均一次粒径为5～30nm的第一氧化硅微粒、平均一次粒径为40～125nm的第二氧化硅微粒以及水，且所述第一氧化硅微粒在所述第一氧化硅微粒和第二氧化硅微粒的合计量中所占的比例为0.7质量%以上且低于60质量%。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨剂 研磨 方法 | ||
【主权项】：
一种研磨剂，用于对研磨对象物的被研磨面进行研磨，其中，含有平均一次粒径为5～30nm的第一氧化硅微粒、平均一次粒径为40～125nm的第二氧化硅微粒以及水，且所述第一氧化硅微粒在所述第一氧化硅微粒和第二氧化硅微粒的合计量中所占的比例为0.7质量%以上且低于60质量%。
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