[发明专利]微机电声音探测装置以及用于制造该装置的方法有效
| 申请号： | 201280019024.0 | 申请日： | 2012-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN103609141B | 公开（公告）日： | 2017-10-13 |
| 发明（设计）人： | J·策林;U·肖尔茨;R·埃伦普福特 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R19/04;H04R31/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 臧永杰,胡莉莉 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及微机电声音探测装置，包括衬底，壳体，至少一个用于声音穿过的开口和用于拾取声音的微机电元件，其中壳体借助模制被构造用于作为空腔提供前容积和后容积用于通过微机电元件探测声音。本发明同样涉及用于制造微机电声音探测装置的方法以及声音探测装置的应用。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 声音 探测 装置 以及 用于 制造 方法 | ||
【主权项】：
微机电声音探测装置(1)，包括：衬底(7)，壳体(4)，至少一个用于声音穿过的开口(2,2a)和用于拾取声音的微机电元件(5)，其中壳体借助模制被构造用于作为空腔提供前容积(8a)和后容积(8b)用于通过微机电元件(5)探测声音，其中用于探测声音的微机电元件(5)被布置在基座(A)上，所述基座(A)相对壳体(4)内的隆起部(11)下沉。
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