[发明专利]气态化学品向形成于中间介质层中的腔体内的注入以用于之后的热扩散释放有效
| 申请号： | 201280019348.4 | 申请日： | 2012-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN103502139A | 公开（公告）日： | 2014-01-08 |
| 发明（设计）人： | 威利布罗德·杰拉杜斯·玛丽亚·凡登豪克;罗伯托·彼得勒斯·范－卡普恩;理查德·L·奈普;查尔斯·G·史密斯 | 申请（专利权）人： | 卡文迪什动力有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 王春伟;刘继富 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明通常涉及用于通过凭借将气体引入到包围MEMS设备的切换元件的腔体中来降低切换时的冲击速度来延长MEMS设备的寿命的方法。利用将离子注入到在容纳切换元件的腔体附近并经由通道连接到该腔体的腔体中来引入所述气体，气体可以通过所述通道从一个腔体流动到另一个腔体。注入能量选择为将许多原子注入靠近腔体的内顶部和底部，使得退火时那些原子扩散进入腔体内。气体提供降低切换MEMS设备的动能的气体阻尼，于是所述切换MEMS设备应具有更长的寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 气态 化学品 形成 中间 介质 中的 体内 注入 用于 之后 扩散 释放 | ||
【主权项】：
一种MEMS的制造方法，包括：制造MEMS设备，所述MEMS设备具有由封装层密封的腔体；将原子注入到所述封装层和与所述腔体相接的其他层中的一个或更多个中；和使所述MEMS设备退火以将所述原子释放到所述腔体中并且使所述腔体增压。
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