[发明专利]改进的超声处理方法和装置有效
| 申请号： | 201280019485.8 | 申请日： | 2012-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN103492092A | 公开（公告）日： | 2014-01-01 |
| 发明（设计）人： | 弗兰克·卢德维格·霍尔斯蒂斯;亚历山大·利珀特 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 李献忠 |
| 地址： | 奥地利*** | 国省代码： | 奥地利;AT |
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| 摘要： | 用于清洗衬底和增强衬底表面处的扩散受限反应的改进的方法和装置使用运行在千兆声波域中的压电式换能器。谐振器组件包括多个换能器层叠，每一个换能器层叠包括耦合到面向衬底的谐振器板的薄膜压电元件。在所使用的公开的频率和功率，在液态处理媒介中可引起爱卡（Eckart）或瑞利（Rayleigh）流却不大量产生空穴。 | ||
| 搜索关键词： | 改进 超声 处理 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种用于处理衬底的装置，其包括：用于所述衬底的保持器；设置为与被所述保持器保持时的衬底间隔预定距离的声波谐振器组件；用于供应液体到被所述保持器保持时的所述衬底和所述声波谐振器之间的间隙中的分配器；和声能的源，其能够为所述声波谐振器组件供应具有至少约100MHz的频率的声能。
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