[发明专利]光学扫描探针无效
申请号: | 201280019677.9 | 申请日: | 2012-01-23 |
公开(公告)号: | CN103492857A | 公开(公告)日: | 2014-01-01 |
发明(设计)人: | 田代佳之;北辻真史;横山精一 | 申请(专利权)人: | HOYA株式会社 |
主分类号: | G01N21/17 | 分类号: | G01N21/17;A61B1/00 |
代理公司: | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人: | 程伟;王锦阳 |
地址: | 日本东京都新*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 该光学扫描探针具有:柔性管、光纤以及物镜,其中,所述光纤用于传输扫描光,其被支撑以能够围绕在所述柔性管中心的轴旋转;所述物镜与光纤整体地旋转,并且具有将扫描光从发散光束转换为平行光束或者会聚光束的正的光学功率,所述扫描光影被从光纤传输。所述物镜配置有使所述扫描光偏斜以利用扫描光照射目标的挠曲表面。 | ||
搜索关键词: | 光学 扫描 探针 | ||
【主权项】:
一种光学扫描探针,包括:柔性管;光纤,用于传输扫描光的所述光纤支撑在所述柔性管中,以能够围绕所述光纤的轴自由地旋转;以及物镜,所述物镜具有正的光学功率,以将从所述光纤透出的所述扫描光从发散光束转换为平行光束或者会聚光束,并且与光纤整体地旋转,其中所述物镜具有使所述扫描光偏斜以照射目标的挠曲表面。
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