[发明专利]带电粒子束照射装置

摘要

本发明提供一种实现小型化的带电粒子束照射装置。带电粒子束照射装置（10）具备：传输线路（31），传输带电粒子束；照射部，向被照射体照射带电粒子束；及旋转机架（12），支承传输线路（31）及照射部，且具有能够绕旋转轴线P旋转的筒体（13），其中传输线路（31）的倾斜部（33）设为通过筒体（13）内而配置的结构。由此，减小向径向突出的传输线路（31）的突出量。

主权项

一种带电粒子束照射装置，其向被照射体照射带电粒子束，该带电粒子束照射装置的特征在于，具备：传输线路，传输所述带电粒子束；及旋转机架，能够绕旋转轴线旋转，所述传输线路具有使向所述旋转轴线方向行进的所述带电粒子束以与所述旋转轴线分开的方式倾斜行进的倾斜部，且形成为使在所述倾斜部内行进的所述带电粒子束沿所述旋转轴线的旋转方向回转，并使沿所述旋转方向回转的所述带电粒子束向所述旋转轴线侧弯曲，所述旋转机架能够容纳所述被照射体，并且，以支承所述传输线路的筒体形成，所述传输线路的所述倾斜部通过所述旋转机架的所述筒体内而配置。