[发明专利]无金的欧姆接触有效
申请号: | 201280020021.9 | 申请日: | 2012-05-18 |
公开(公告)号: | CN103636001A | 公开(公告)日: | 2014-03-12 |
发明(设计)人: | R·V·谢拉卡拉;T·E·卡齐奥;J·R·拉罗什 | 申请(专利权)人: | 雷声公司 |
主分类号: | H01L29/45 | 分类号: | H01L29/45;H01L29/20;H01L29/778 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 张伟;王英 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 发明提供一种半导体结构,其具有:半导体;无金的导电结构,其与该半导体欧姆接触;以及一对导电层,其通过硅层分隔开。该结构包括:难熔金属层,其布置为与该半导体接触;并且其中通过该硅层分隔开的该对导电层中的一个是该难熔金属层。第二硅层被布置于该对导电层中的第二个之上,并且包括在该第二硅层上的第三导电层。在一实施例中,该半导体包括III-V族材料。 | ||
搜索关键词: | 欧姆 接触 | ||
【主权项】:
一种器件,包括:III‑V族半导体;以及无金的导电结构,其与所述半导体欧姆接触。
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