[发明专利]使用重复结构的基于设计的检验有效
| 申请号： | 201280021438.7 | 申请日： | 2012-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN103503126A | 公开（公告）日： | 2014-01-08 |
| 发明（设计）人： | 阿肖克·库尔卡尼;简-辉·亚当·陈 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 张世俊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供用于使用重复结构的基于设计的检验的系统及方法。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 重复 结构 基于 设计 检验 | ||
【主权项】：
一种用于检验晶片的计算机实施方法，其包括：识别晶片的设计中的结构的多个实例，其中所述结构具有相同或实质上相同的几何特性，且其中使用所述设计的设计数据来执行所述识别；将检验系统的针对形成于所述晶片上的所述多个实例中的两者或两者以上产生的输出彼此进行比较，其中所述多个实例中的所述两者或两者以上位于所述晶片上的相同裸片内；及基于所述比较的结果而检测所述晶片上的缺陷，其中使用计算机系统来执行所述识别、所述比较及所述检测。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于科磊股份有限公司，未经科磊股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201280021438.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种小鹅用饲料及其制备方法
- 下一篇：一种绿茶姜汤饮料及其制作方法
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
