[发明专利]曝光用ＬＥＤ光源模块、曝光用ＬＥＤ光源装置及曝光用ＬＥＤ光源装置管理系统有效
| 申请号： | 201280021659.4 | 申请日： | 2012-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN103502723A | 公开（公告）日： | 2014-01-08 |
| 发明（设计）人： | 李在庆;吴玿永;沈铉昌;尹东吉;金东映;任祥均;郑成容;徐在寅;朴锺植;崔桓溶;申美善;金韩龙 | 申请（专利权）人： | (株)茵匹泰克 |
| 主分类号： | F21S2/00 | 分类号： | F21S2/00;F21V8/00;G03F7/20;F21Y101/02 |
| 代理公司： | 北京冠和权律师事务所 11399 | 代理人： | 朱健 |
| 地址： | 韩国忠清北道清州市兴德*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供包括多个将LED（Light Emitting Diode）用作光源的光源单元的单一光源模块以能够以一个光源对半导体晶片、显示板等多种大小和种类的曝光对象物以及多种性质的光刻胶（Photo resist，PR）进行曝光，并提供能够有效地控制并管理它的装置以及管理系统，从而提供能够精细而简便地调节曝光光源的强度而准确且快速地对曝光对象物进行曝光，且能够迅速而简便地处理故障的曝光用LED光源模块、曝光用LED光源装置以及曝光用LED光源装置管理系统。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 led 光源 模块 装置 管理 系统 | ||
【主权项】：
一种曝光用ＬＥＤ光源模块，其特征在于，包括：包括产生强度由供给电流所控制的光的一个以上的LED（Light Emitting Diode）的一个以上曝光用LED光源单元、以及具有决定由从上述LED产生的光而曝光的曝光区域的图样的剖面，且将在上述LED光源单元放射的光集中并均匀地整齐排列上述所集中的光的光束并以上述剖面的形态射出的棒状透镜（Rod lens）。
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