[发明专利]MEMS锚定器及间隔物结构有效
| 申请号： | 201280023418.3 | 申请日： | 2012-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN103547957B | 公开（公告）日： | 2017-11-14 |
| 发明（设计）人： | 蒂莫西·J·布罗斯尼汉;马克·B·安德森;尤金·E·菲克三世;贾斯珀·洛德维克·斯泰恩;乔伊斯·吴 | 申请（专利权）人： | 追踪有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/02 | 分类号： | G02B26/02;B81C1/00;B81B7/00;G09G3/34 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司11287 | 代理人： | 林斯凯 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明揭示一种显示设备，所述显示设备包含第一衬底；多个微机电系统MEMS光调制器，其由耦合到所述第一衬底的结构材料形成；及第二衬底，其与所述第一衬底分离。多个间隔物从所述第一衬底延伸以保持所述第二衬底离开所述多个光调制器最小距离。所述间隔物包含第一聚合物层，其具有接触所述第一衬底的表面；第二聚合物层，其囊封所述第一聚合物层；及结构材料层，其囊封所述第二聚合物层。所述间隔物可用作流体屏障且经配置以包围所述显示设备中一个以上但并非全部所述MEMS光调制器。 | ||
| 搜索关键词： | mems 锚定 间隔 结构 | ||
【主权项】：
一种显示设备，其包括：第一衬底；多个微机电系统MEMS光调制器，其由耦合到所述第一衬底的结构材料形成；第二衬底，其与所述第一衬底分离；及多个间隔物，其从所述第一衬底延伸，所述间隔物包含：第一聚合物层，其具有接触所述第一衬底的表面；第二聚合物层，其与所述第一聚合物层的未接触所述第一衬底的全部表面接触；及所述结构材料的层，其与所述第二聚合物层的未接触所述第一聚合物层且未接触所述第一衬底的全部表面接触。
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