[发明专利]降能器及具备该降能器的带电粒子束照射系统有效
申请号: | 201280026887.0 | 申请日: | 2012-04-06 |
公开(公告)号: | CN103582915A | 公开(公告)日: | 2014-02-12 |
发明(设计)人: | 宫下拓也;上田隆正 | 申请(专利权)人: | 住友重机械工业株式会社 |
主分类号: | G21K3/00 | 分类号: | G21K3/00;A61N5/10;G21K5/04 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 胡建新;朴勇 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种降能器(10)及具备该降能器的带电粒子束照射系统,所述降能器能够缓解能量较低的带电粒子束的透射率的下降。本发明的降能器(10)具备能量衰减量不同的多个衰减部件(11A~11G),由透射率高于能量衰减量较小的高能量侧衰减部件(11A)的材质来形成能量衰减量较大的低能量侧衰减部件(11G)。 | ||
搜索关键词: | 降能器 具备 带电 粒子束 照射 系统 | ||
【主权项】:
一种降能器,其具备衰减所入射的带电粒子束的能量的多个衰减部件,所述降能器的特征在于,具有衰减的能量的量不同的多个所述衰减部件,由所述带电粒子束的透射率高于衰减的能量的量较小的所述衰减部件即高能量侧衰减部件的材质,构成衰减的能量的量较大的所述衰减部件即低能量侧衰减部件。
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