[发明专利]带电粒子束装置及样品制作方法有效
| 申请号： | 201280028058.6 | 申请日： | 2012-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN103608891A | 公开（公告）日： | 2014-02-26 |
| 发明（设计）人： | 南里光荣;富松聪 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/30;H01J37/304 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王亚爱 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种带电粒子束装置，在具有样品依赖性的FIB加工中，不受操作者的个人差异的影响，能够高效地加工成期望的形状。在带电粒子束装置中安装：将由离子源产生的离子束照射给样品的离子束光学系统装置及其控制装置；检测样品的组成元素的元素检测器及其控制装置；和基于由元素检测器确定的元素来自动设定样品的加工条件的中央处理装置。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 装置 样品 制作方法 | ||
【主权项】：
一种带电粒子束装置，其特征在于，具备：离子束光学系统装置，其向样品照射由离子源产生的离子束；第1控制装置，其控制所述离子束光学系统装置；元素检测器，其基于通过所述离子束的照射而由样品产生的信号，检测照射位置的元素；第2控制装置，其控制所述元素检测器；样品保持机构，其保持所述样品；真空容器；和中央处理装置，其基于由所述元素检测器检测出的元素的信息，自动设定所述样品的加工条件。
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