[发明专利]从片材的扫描测量确定CD和MD的变化

摘要

本申请的系统基于使用两种或更多扫描速度获得的扫描测量的功率谱的频谱分量，确定被测量的材料的扫描测量内的机器横向（CD）变化和/或机器纵向（MD）变化。具有相同空间频率的主要频谱分量被用来识别CD变化，而且具有相同时间频率的主要频谱分量被用来识别MD变化。通过对功率谱的所有频谱分量进行排序以形成第一有序功率谱，可以从噪声测量的功率谱中提取主要频谱分量。用第一多项式表示有序功率谱的背景噪声，关于第一多项式设置第一阈值。将有序功率超过第一阈值的频谱分量从有序功率谱中去除，以形成噪声功率谱。用第二多项式表示功率谱中的噪声功率谱，关于第二多项式设置第二阈值。将功率谱超过第二阈值的频谱分量识别为功率谱的主要频谱分量。

主权项

一种用于从片材作出的扫描测量确定CD变化的方法，包括：在待测量的片材上以第一扫描速度扫描至少一个传感器，以产生第一扫描测量；将所述第一扫描测量转换为关于第一空间频率的第一空间功率谱；检测所述第一空间功率谱的第一空间主要频谱分量；在待测量的所述片材上以第二扫描速度扫描至少一个传感器，以产生第二扫描测量；将所述第二扫描测量转换为关于第二空间频率的第二空间功率谱；检测所述第二空间功率谱的第二空间主要频谱分量；以及通过确定所述第一空间主要频谱分量中的至少一个与所述第二空间主要频谱分量中的至少一个主要频谱分量处于相同的空间频率的主要频谱分量，识别所述扫描测量的CD频谱分量。