[发明专利]光定向照射装置

摘要

本发明所涉及的光定向照射装置(1)，其特征在于具备：偏振单元(3)，其具备沿邻接方向邻接而配置的多个单位起偏器(31)；以及扫描单元，其通过使工作台(4)或偏振光照射单元(2)的至少一方移动，从而相对于载置于工作台(4)的基板(9)，使来自偏振光照射单元(2)的紫外线沿既定的扫描方向扫描，单位起偏器(31)的邻接面以及单位起偏器(31)的邻接方向相对于扫描方向倾斜。从而在光定向照射装置中谋求实现良好的定向特性。

主权项

一种光定向照射装置，具备偏振光照射单元、工作台和扫描单元，所述光定向照射装置的特征在于：所述偏振光照射单元具备紫外线照射单元和偏振单元，所述偏振单元具备沿邻接方向邻接而配置的多个单位起偏器，所述单位起偏器使从所述紫外线照射单元出射的紫外线偏振，所述工作台能够载置在表面形成了定向膜的基板，所述扫描单元通过使所述工作台或所述偏振光照射单元的至少一方移动，从而相对于载置于所述工作台的所述基板，使来自所述偏振光照射单元的紫外线沿既定的扫描方向扫描，所述工作台和所述偏振光照射单元以如下方式配置，即在与所述工作台平行的面，所述单位起偏器的邻接面以及所述单位起偏器的邻接方向相对于扫描方向倾斜，以使从所述单位起偏器的邻接面照射的偏振紫外线遍及所述基板上的既定区域而分散。