[发明专利]元件基板的制造方法有效

专利信息
申请号: 201280030580.8 申请日: 2012-07-12
公开(公告)号: CN103608856A 公开(公告)日: 2014-02-26
发明(设计)人: 山田崇晴;伊藤了基;吉田昌弘;中川英俊;大石琢也;松田成裕;木田和寿 申请(专利权)人: 夏普株式会社
主分类号: G09F9/00 分类号: G09F9/00;G02F1/13;G02F1/1343;G02F1/1345;G09F9/30
代理公司: 北京市隆安律师事务所 11323 代理人: 权鲜枝
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 在本发明的阵列基板(20)的制造方法中,进行配线形成工序,在玻璃基板(GS)上,以跨越玻璃基板(GS)的第1区域(A1)和与第1区域(A1)的外侧相邻的第2区域(A2)的形式形成多个源极配线(27),以跨越第2区域(A2)和与第1区域(A1)的外侧相邻且与第2区域(A2)相邻的第3区域(A3)的形式形成多个第1源极驱动器侧检查配线(45A),在第2区域(A2)形成连接源极配线(27)和第1源极驱动器侧检查配线(45A)的多个第1配线连接部(49),以跨越第1区域(A1)和第3区域(A3)的形式形成电容配线主干(43)和共用配线(44),在第3区域(A3)形成连接第2源极驱动器侧检查配线(45B)、电容配线主干(43)和共用配线(44)以及第2源极驱动器侧检查配线(45B)的第2配线连接部(50)。
搜索关键词: 元件 制造 方法
【主权项】:
一种元件基板的制造方法,进行如下工序:配线形成工序,在基板上,以跨越上述基板中的第1区域和与上述第1区域的外侧相邻的第2区域的形式形成多个第1配线,以跨越上述第2区域和与上述第1区域的外侧相邻且与上述第2区域相邻的第3区域的形式形成多个第1检查配线,在上述第2区域形成连接上述第1配线和上述第1检查配线的多个第1配线连接部,以跨越上述第1区域和上述第3区域的形式形成第2配线,在上述第3区域分别形成第2检查配线以及连接上述第2配线和上述第2检查配线的第2配线连接部;检查工序,对多个上述第1检查配线和上述第2检查配线输入检查信号,由此分别检查多个上述第1配线和上述第2配线;以及除去工序,在上述第2区域和上述第3区域中至少除去上述第1检查配线和上述第2检查配线的至少一部分,由此使上述第1配线和上述第1检查配线以及上述第2配线和上述第2检查配线分别为非连接状态。
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