[发明专利]溅射靶有效
| 申请号： | 201280031120.7 | 申请日： | 2012-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN103814151A | 公开（公告）日： | 2014-05-21 |
| 发明（设计）人： | D·T·普莱斯特德;M·阿斯巴斯;L·C·费林;P·G·卡特;G·P·拉韦里埃里 | 申请（专利权）人： | 梭莱有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 林振波 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种用于铸造反应材料PVD靶的方法，和由此获得的靶和用于铸造的模具。该方法包括；提供限定开口的模具；将反应材料锭放入邻近模具的储存器（140）内；形成真空并在储存器中熔化反应材料；将模具加热到高于铸造温度并在其中形成真空；将熔化的反应材料从储存器引入开口；并使模具冷却，以形成PVD靶。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 | ||
【主权项】：
一种用于铸造反应材料PVD靶的方法，所述方法包括以下步骤：‑提供限定开口的模具，所述模具具有封闭底部；‑将反应材料锭放入邻近模具的储存器内；‑在储存器中形成真空或惰性气体氛围并熔化反应材料；‑将模具加热到高于铸造温度并在模具中形成真空或惰性气体氛围；‑将熔化的反应材料从储存器引入开口；和‑使模具冷却，以形成反应材料PVD靶。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于梭莱有限公司，未经梭莱有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201280031120.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种雪樱子快熟汤及其制备方法
- 下一篇：聚酰胺模塑化合物
- 同类专利
- 专利分类
