[发明专利]等离子体生成方法及生成装置无效
申请号: | 201280031442.1 | 申请日: | 2012-04-27 |
公开(公告)号: | CN103636294A | 公开(公告)日: | 2014-03-12 |
发明(设计)人: | 中岛秀之;迫田达也;马场诚二 | 申请(专利权)人: | 旭有机材工业株式会社 |
主分类号: | H05H1/24 | 分类号: | H05H1/24;C01B13/10;C01B13/11 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 张平元 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 发明提供一种在流体和电介质管之间产生放电的等离子体生成方法及生成装置。所述等离子体生成方法通过对所供给的气体施加电压,利用电介质管内的放电而生成等离子体,其中,在该电介质管的内部或上方配置通水管,在该电介质管的外侧设置高电压电极,在该电介质管的内周具有间隙的状态下对通过通水管排出到该电介质管内的流体设置接地电极,并通过对与电源装置连接的该高电压电极和该接地电极施加电压而在该电介质管的内壁与流体之间、或者在该电介质管的内壁和该通水管之间产生放电。另外,所述电介质管、所述通水管、导入所述供给的气体的导入口的连结形成为抽吸结构。 | ||
搜索关键词: | 等离子体 生成 方法 装置 | ||
【主权项】:
一种等离子体生成方法,其通过对供给的气体施加电压,利用电介质管内的放电而生成等离子体,其中,高电压电极设置于该电介质管的外侧,在该电介质管的内周具有间隙的状态下对排出到该电介质管内的流体设置接地电极,并通过对与电源装置连接的该高电压电极和该接地电极施加电压而在该电介质管的内壁与该流体之间产生放电。
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