[发明专利]试料的制作装置、制作方法以及使用该制作装置和制作方法的带电粒子线装置有效
| 申请号： | 201280032123.2 | 申请日： | 2012-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN103635987A | 公开（公告）日： | 2014-03-12 |
| 发明（设计）人： | 竹内秀一;高须久幸;金子朝子 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;B23K15/00;G01N1/28;G01N23/225 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 雒运朴 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 发明提供一种无需在带电粒子线装置中另行设置别的装置且在真空状态下进行试料的加工、观察、追加加工的装置以及方法。在带电粒子线装置的真空室内配置填充有离子液体的液池和超声波振动单元，并在离子液体和试料的加工对象区域接触的状态下，使超声波振动向离子液体中传播而加工试料。无需在带电粒子线装置另行设置别的装置且能够在真空状态下进行试料的加工、观察、追加加工，因此提高生产量并且防止空气的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 制作 装置 制作方法 以及 使用 带电 粒子 线装 | ||
【主权项】：
一种带电粒子线装置，具备：向试料照射带电粒子的电子光学系统；检测从所述试料放出的带电粒子的检测系统；以及真空室，所述带电粒子线装置的特征在于，所述真空室具备：收纳液体的液池；以及产生超声波振动的超声波振动机构，所述超声波振动机构向该液池内的液体中传播超声波振动。
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