[发明专利]等离子体光源有效

专利信息
申请号: 201280032914.5 申请日: 2012-06-28
公开(公告)号: CN103688337B 公开(公告)日: 2017-12-12
发明(设计)人: A·S·尼特 申请(专利权)人: 塞拉维申有限公司
主分类号: H01J65/04 分类号: H01J65/04;H01J9/24
代理公司: 北京泛华伟业知识产权代理有限公司11280 代理人: 王勇,王博
地址: 英国米尔*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种透明波导等离子体光源(LUWPL)(1)具有石英波导主体(2),其具有中心的通孔(3)。孔在其相对端部具有孔口(4,5),其在主体(2)的平的端面(6,7)的中心开口。在端面之间,主体具有圆柱形外围(8)。拉制石英管(10)被插入主体中。管使其一个端部(11)密封并且具有将管定位在孔中的领部(12),管在孔的孔口处熔融至面(6,7)。管被抽空并填充可激发材料(1),并封闭为密封中空(16),其至少延伸至主体和管之间、孔的孔口处的熔融件。法拉第罩(21)和主体中的孔(23)中的天线(22)被设置为用于将微波能量提供至光源。当利用微波供能时,在波导中建立谐振并且在中空中产生等离子体。来自于此的光从中空中辐射并从外围(8)径向离开波导和法拉第罩。
搜索关键词: 等离子体 光源
【主权项】:
一种透明波导等离子体光源,具有:·固态介电透明材料的制造件,具有密封中空,所述密封中空包含电磁波可激发的材料;·法拉第罩:限定波导,至少部分透明,并且对于从其发出的光至少是部分透射的,具有不透明的壳,以及包封所述制造件;·用于将激发电磁波的等离子体引入所述波导中的装置;所述制造件、所述法拉第罩和所述装置被布置为使得在引入确定的频率的电磁波时,在所述中空中产生等离子体并且光经由所述法拉第罩发出,以及其中所述制造件包括:·具有孔的透明波导主体,以及·所述孔中的透明管,该管提供所述密封中空并且该管具有:第一密封端部和第二密封端部,以及在所述主体和所述管之间的、位于所述孔的一个孔口处的、所述管的第一密封端部处或附近的熔融件,其中,所述中空至少延伸至所述主体和所述管之间的、所述孔的所述孔口处的所述熔融件,以及所述管在所述主体和所述管之间的熔融件处形成有隆起部,所述隆起部在所述主体的外部。
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