[发明专利]形状检查方法、结构物的制造方法以及形状检查装置

摘要

本发明提供能非破坏、精度良好地检查具有凹凸形状的检查对象的形状检查方法、结构物的制造方法以及形状检查装置。本发明的形状检查方法是对表面具有凹凸形状的标准样品和表面具有凹凸形状的检查对象照射光，比较上述标准样品的多个波长的反射率和上述检查对象的上述多个波长的反射率，由此检查上述检查对象的上述凹凸形状的形状检查方法。

主权项

一种形状检查方法，对表面具有蛾眼结构的检查对象膜照射光，比较表面具有蛾眼结构的标准样品膜的多个波长的反射率和上述检查对象膜的上述多个波长的反射率，由此在上述检查对象膜的反射率光谱的峰值波长的反射率和底部波长的反射率相对小的情况下，识别为：上述检查对象膜的蛾眼结构的凸部的粗细度比上述标准样品膜的蛾眼结构的凸部的粗细度粗，上述形状检查方法的特征在于，上述标准样品膜包括：第一样品，其蛾眼结构的凸部的粗细度设定成规定的上限值；和第二样品，其蛾眼结构的凸部的粗细度设定成规定的下限值，上述形状检查方法包含：第一步骤，分别测定上述第一样品的反射率光谱的峰值波长的反射率和底部波长的反射率，将其记录为第一标准反射率；第二步骤，分别测定上述第二样品的反射率光谱的峰值波长的反射率和底部波长的反射率，将其记录为第二标准反射率；以及第三步骤，测定上述检查对象膜的反射率光谱，根据其峰值波长的反射率和底部波长的反射率是否在上述第一标准反射率和上述第二标准反射率的范围内，判定上述检查对象膜合格与否。