[发明专利]一种操作具有电容变送器的绝对压力或相对压力传感器的方法

摘要

本发明涉及一种操作压力传感器的方法，所述压力传感器包括测量膜片，至少一个对置体和具有在测量膜片上的电极和空间位置固定的对电极之间的两个压力相关电容的电容变送器，其中测量膜片以压力密闭的方式将体积分为两个体积部，其中第二体积部封闭在测量膜片和对置体间的测量腔内，其中测量膜片的偏移取决于压力测量变量p，其为体积部内的体积部内的第一压力p₁和第二压力p₂之间的差，其中压力测量变量p由两个电容产生，其中，对于完好无损的压力传感器，第二电容为第一电容以及在给定情况下的温度的预定函数，其中方法具有如下步骤：捕捉两个电容的值对；检测值对是否在容限范围内符合预定函数；并且如果在太长的时间内情况不符合，则确定传感器的变化或损坏。

主权项

一种操作压力传感器的方法，其中，所述压力传感器包括测量膜片，至少一个平台以及具有至少第一压力相关电容和第二压力相关电容的电容变送器，其中所述测量膜片压力密闭地将体积分为第一体积部和第二体积部，其中所述第二体积部封闭在所述测量膜片和所述平台之间的测量腔内，其中所述测量膜片的偏移取决于压力测量变量p，其为所述第一体积部内的第一压力p₁与所述测量腔内的所述第二体积部内的第二压力p₂之间的差，其中在每种情况下，测量在所述测量膜片上的电极和具有基本上与压力不相关位置的对电极之间的第一电容和第二电容，其中作为所述第一电容和所述第二电容的函数确定所述压力测量变量p的各自的当前值，其中，对于处于热平衡的完好无损的压力传感器，所述第二电容表示为所述第一电容和在给定情况下的温度的预定函数，其中所述方法具有如下步骤：记录所述第一电容和所述第二电容的值对，测试所述第一电容和所述第二电容的记录值对是否实际在预定容限范围内符合所述预定函数的关系，并且当在比时间极限值持续更长的时间段中不符合时，确定所述传感器的变化和/或损坏。