[发明专利]提供有机抗蚀剂与铜或铜合金表面的粘附的方法

摘要

本发明涉及一种提高有机抗蚀剂材料在铜或铜合金表面上的粘附的方法。铜或铜合金表面与水性粘附增强溶液接触，所述水性粘附增强溶液包含至少一种有机酸、过氧化物化合物和任选地一种或多种如下的物质，其选自尿素、尿素衍生物和水溶性聚合物。

主权项

1.提高有机抗蚀剂材料在铜或铜合金表面上的粘附的方法，所述方法包括以下步骤：/na．提供具有铜或铜合金表面的基底，/nb．使所述表面接触水性粘附增强溶液，所述水性粘附增强溶液包含：/ni．至少一种有机酸，其选自羧酸、羟基羧酸、氨基羧酸和磺酸，和/nii．过氧化物化合物，/n其中所述至少一种有机酸的浓度，或在多于一种有机酸的情况下所有有机酸的总浓度，是0.005至0.04摩尔/L，/n其中所述磺酸的浓度为0.005至0.008摩尔/L，/n其中所述水性粘附增强溶液的pH值为1.8至5，/n其中所述水性粘附增强溶液不含N-杂环化合物，/n其中所述水性粘附增强溶液不含无机酸，/n从而在铜或铜合金表面之上形成一种或多种氧化铜相的层，/n和/nc．使有机抗蚀剂材料附着至所述一种或多种氧化铜相的层上，/n其中所述一种或多种氧化铜相的层的厚度为5至300nm，并且与下面的铜或铜合金层相比，所述一种或多种氧化铜相的层的RSAI值>50%，并且R