[发明专利]固体加工阀有效
申请号: | 201280034617.4 | 申请日: | 2012-06-14 |
公开(公告)号: | CN103648631B | 公开(公告)日: | 2017-02-15 |
发明(设计)人: | 唐·巴拉诺维斯基;马修·比肖普;M·德蒂亚;迈克尔·约翰·莫尔纳;P·克里斯蒂安·纳伯豪斯 | 申请(专利权)人: | 赫姆洛克半导体公司 |
主分类号: | B01J8/18 | 分类号: | B01J8/18;C01B33/027;B01J8/00;B65G53/46 |
代理公司: | 北京安信方达知识产权代理有限公司11262 | 代理人: | 张华卿,郑霞 |
地址: | 美国密*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明公开了一种选择性地分配来自容器的室的硅产物的圆顶阀。所述圆顶阀包括限定直通通道的阀本体,所述直通通道与所述容器的所述室连通,以允许所述硅产物离开所述容器。所述圆顶阀还包括限定开口的阀座,所述硅产物通过所述开口进入所述直通通道。所述圆顶阀还包括具有半‑半球构型的圆顶本体。所述圆顶本体具有密封表面。所述圆顶本体可在闭合位置和打开位置之间旋转,以允许选择性地分配来自所述容器的所述硅产物。 | ||
搜索关键词: | 固体 加工 | ||
【主权项】:
一种用于制备硅产物的流化床反应器,所述流化床反应器包括:限定反应室的壳体;由所述壳体限定的颗粒入口,以允许晶种颗粒进入所述反应室;由所述壳体限定的气体入口,以允许含硅加工气体进入所述反应室;加热装置,所述加热装置用于加热所述反应室,以分解所述含硅加工气体,从而使硅在所述晶种颗粒上生长以制备所述硅产物;由所述壳体限定的排放出口,以允许所述硅产物离开所述反应室;以及圆顶阀,所述圆顶阀联接到所述壳体,用于选择性地分配来自所述流化床反应器的所述硅产物,所述圆顶阀包括:限定直通通道的阀本体,所述直通通道与所述反应室连通,以允许所述硅产物离开所述流化床反应器;在所述直通通道内联接到所述阀本体的阀座,其中所述阀座限定开口,所述硅产物通过所述开口进入所述直通通道;圆顶本体,所述圆顶本体具有半‑半球构型并且可旋转地设置在所述直通通道内,其中所述圆顶本体具有密封表面以及与所述密封表面间隔开的内表面;可膨胀密封件,所述可膨胀密封件是可膨胀的以接合所述圆顶本体的所述密封表面,以便密封所述直通通道,从而防止所述含硅加工气体离开所述流化床反应器,其中所述可膨胀密封件利用不包括氧化气体的气体膨胀;其中所述圆顶本体能够在所述直通通道内在闭合位置和打开位置之间旋转,其中所述圆顶本体的所述密封表面在所述闭合位置接合所述阀座,以形成所述直通通道的主密封,从而防止所述硅产物从所述流化床反应器选择性地分配,并且其中由所述阀座限定的所述开口至少部分地不被处于所述打开位置的所述圆顶本体的所述密封表面阻挡,以允许选择性地分配来自所述流化床反应器的所述硅产物。
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