[发明专利]吸附装置及处理装置有效
| 申请号： | 201280035359.1 | 申请日： | 2012-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN103717349A | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | 松岛达郎 | 申请（专利权）人： | 株式会社日本制钢所 |
| 主分类号： | B23Q3/08 | 分类号： | B23Q3/08;B23K26/70;B23K37/04 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 茅翊忞 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种吸附装置及具备该吸附装置的处理装置，能够以很高的作业效率简单地吸附固定不同尺寸的被吸附体。具备利用差压来吸附膜状材料(2)的吸附部(61)，吸附部(61)被划分成能够各自独立地实施吸附动作的多个吸附区域(62a～62d)，各个吸附区域(62a～62d)与真空排气线(13a～13d)和气体供给线(16a～16d)连通地连接，在真空排气线(13a～13d)和气体供给线(16a～16d)上分别设置了开闭阀(14a～14d)、(17a～17d)。 | ||
| 搜索关键词： | 吸附 装置 处理 | ||
【主权项】：
一种吸附装置，其特征在于，具备利用差压来吸附被吸附体的吸附部，该吸附部被划分成能够各自独立地实施吸附动作的多个吸附区域。
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