[发明专利]用于制备化合物的气相沉积方法有效
| 申请号： | 201280036116.X | 申请日： | 2012-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN104093876A | 公开（公告）日： | 2014-10-08 |
| 发明（设计）人： | 布赖恩·埃利奥特·海登;克里斯托弗·爱德华·李;邓肯·克利福德·艾伦·史密斯;马克·斯蒂芬·比尔;吕晓娟;矢田千宏 | 申请（专利权）人： | 爱利卡技术有限公司;丰田自动车株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 贺卫国 |
| 地址： | 英国南*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于制备化合物的气相沉积方法，其中，所述方法包括将所述化合物的每种成分元素以蒸气提供，和将所述成分元素蒸气共沉积在共同的基材上，其中：使用裂化源提供至少一种成分元素的蒸气；使用等离子源提供至少一种其他成分元素的蒸气；并且提供至少一种另外的成分元素蒸气；其中，所述成分元素在所述基材上反应，以形成所述化合物。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制备 化合物 沉积 方法 | ||
【主权项】：
一种用于制备化合物的气相沉积方法，其中，所述方法包括：将所述化合物的每个成分元素以蒸气提供，并且将所述成分元素蒸气共沉积在共同的基材上，其中：使用裂化源提供至少一种成分元素的蒸气；使用等离子源提供至少一种其他成分元素的蒸气；并且提供至少一种另外的成分元素蒸气；其中，所述成分元素在所述基材上反应，以形成所述化合物。
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