[发明专利]抗蚀剂剥离剂有效
| 申请号： | 201280038198.1 | 申请日： | 2012-10-02 |
| 公开（公告）号： | CN103733137B | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 大坪博文;石井庆一郎;久保贤一;柳基典 | 申请（专利权）人： | 野村微科学股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 张楠;陈建全 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种抗蚀剂剥离剂，其在具有作为抗蚀剂剥离剂的优良的抗蚀剂剥离性能的同时，在纯水漂洗时，抗蚀剂剥离物不会在基板上析出或再附着。还提供一种对金属布线、特别是对铜布线没有腐蚀性、且能够再利用的抗蚀剂剥离剂。上述抗蚀剂剥离剂的特征在于，其含有：（A）选自碳酸亚乙酯、碳酸亚丙酯、γ‑丁内酯和环戊酮中的1种以上的化合物50～99质量%；以及（B）碳酸甘油酯1～50质量%。 | ||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂 剥离 | ||
【主权项】：
1.一种抗蚀剂剥离剂，其特征在于，其含有：(A)选自碳酸亚乙酯、碳酸亚丙酯、γ‑丁内酯和环戊酮中的1种以上的化合物50～99质量％；以及(B)碳酸甘油酯1～50质量％。
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