[发明专利]用于光致抗蚀剂冲洗剂溶液的全氟烷基磺酰胺表面活性剂有效
| 申请号： | 201280038836.X | 申请日： | 2012-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN103717706A | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | J·M·科伦;P·M·萨伍;M·J·皮诺 | 申请（专利权）人： | 3M创新有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/08 | 分类号： | C09K13/08 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 陈文平;陈长会 |
| 地址： | 美国明*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种使光致抗蚀剂材料的表面改性的方法，其包括将所述光致抗蚀剂材料暴露于水性离子表面活性剂溶液以及改变所述水性离子表面活性剂溶液的pH直至含氟化合物层形成于所述光致抗蚀剂材料中或所述光致抗蚀剂材料上。所述水性离子表面活性剂溶液包含下式的全氟烷基磺酰胺：RfSO2NH-R’其中Rf=CnF2n+1-，并且n=1至6，R’=-H、-CH3和-CH2CH2OH。所述水性离子表面活性剂溶液具有在约3pH单位全氟烷基磺酰胺pKa内的pH。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光致抗蚀剂冲 洗剂 溶液 烷基 磺酰胺 表面活性剂 | ||
【主权项】：
一种使光致抗蚀剂材料的表面改性的方法，包括：将所述光致抗蚀剂材料暴露于水性离子表面活性剂溶液，所述水性离子表面活性剂溶液包含具有式I的全氟烷基磺酰胺：RfSO2NH‑R’ (I)其中Rf=CnF2n+1‑，并且n=1至6，R’=‑H、‑CH3和‑CH2CH2OH；以及改变所述水性离子表面活性剂溶液的pH直至含氟化合物层形成于所述光致抗蚀剂材料中或所述光致抗蚀剂材料上；其中所述水性离子表面活性剂溶液具有在约3pH单位全氟烷基磺酰胺pKa内的pH。
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