[发明专利]旋转溅射靶组件无效
| 申请号： | 201280039025.1 | 申请日： | 2012-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN103781936A | 公开（公告）日： | 2014-05-07 |
| 发明（设计）人： | S.S.G.蒂尔斯;P.S.吉尔曼 | 申请（专利权）人： | 普莱克斯技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;H01J37/34;B21D39/04;B21C37/15 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张昱;傅永霄 |
| 地址： | 美国康*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明利用共挤压或共拉拔工艺来将管状靶直接地结合到内背衬管上。共挤压或共拉拔工艺使外管状靶的内径和外径减小，以使靶的部分突入并且至少部分地填充入沿着内背衬管的槽中。该填充使靶互锁至背衬板。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转 溅射 组件 | ||
【主权项】：
可旋转溅射靶组件，其包括：背衬管，其包括外表面；溅射管状靶，其包括内表面，所述内表面与所述背衬管的所述外表面直接接触，其中，所述背衬管共轴地配置在所述管状靶的内部体积之内；以及多个间隔开的槽，其设置在所述靶的所述内表面和所述背衬管的所述外表面之间，由此，所述多个槽中的每一个都沿着所述组件的周边延伸，所述槽配置成与突入其内的所述溅射靶的部分互锁，以产生带槽交界面。
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