[发明专利]半导体发光元件以及包含该半导体发光元件的叠层体无效
申请号: | 201280039160.6 | 申请日: | 2012-08-09 |
公开(公告)号: | CN103890980A | 公开(公告)日: | 2014-06-25 |
发明(设计)人: | 岩井真;平尾崇行;吉野隆史 | 申请(专利权)人: | 日本碍子株式会社 |
主分类号: | H01L33/32 | 分类号: | H01L33/32;C30B9/00;C30B29/38 |
代理公司: | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人: | 李晓 |
地址: | 日本爱知县名古*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明为一种半导体发光元件,其具有13族元素氮化物膜(3)、设置在13族元素氮化物膜(3)上的n型半导体层(21)、设置在n型半导体层(21)上的发光区域(23)以及设置在发光区域(23)上的p型半导体层(25),所述13族元素氮化物膜是在晶种基板上通过助熔剂法由含有助熔剂及13族元素的熔液于含氮气氛下育成的,其特征在于,所述13族元素氮化物膜(3)含有夹杂物分布层(3a)和夹杂物缺乏层(2b),所述夹杂物分布层(3a)被设置于自13族元素氮化物膜(3)的晶种基板侧的界面(11a)起50μm以下的区域,且分布有源自熔液的成分的夹杂物,所述夹杂物缺乏层(2b)被设置于夹杂物分布层上,且所述夹杂物缺乏层(2b)中缺乏夹杂物。 | ||
搜索关键词: | 半导体 发光 元件 以及 包含 叠层体 | ||
【主权项】:
一种半导体发光元件,其具有13族元素氮化物膜、设置在该13族元素氮化物膜上的n型半导体层、设置在该n型半导体层上的发光区域以及设置在该发光区域上的p型半导体层,所述13族元素氮化物膜是在晶种基板上通过助熔剂法由含有助熔剂及13族元素的熔液于含氮气氛下育成的,其特征在于,所述13族元素氮化物膜含有夹杂物分布层和夹杂物缺乏层,所述夹杂物分布层被设置于自所述13族元素氮化物膜的所述晶种基板侧的界面起50μm以下的区域,且分布有源自所述熔液的成分的夹杂物,所述夹杂物缺乏层被设置于该夹杂物分布层上,且所述夹杂物缺乏层中缺乏所述夹杂物。
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