[发明专利]连续式蒸镀装置

摘要

蒸镀装置（1）具备：蒸发源（3），使蒸镀于被蒸镀体（2）的蒸镀材料（32）蒸发；筒状体（4），包围蒸发源（3）以及被蒸镀体（2）之间的空间，在被蒸镀体（2）侧具有开口部（41）；以及修正板（5），设置于筒状体（4）的开口部（41）附近，对从筒状体（4）放射的蒸镀材料（32）的量进行控制。此外，在比修正板（5）更靠被蒸镀体（2）侧设置有扩散板（6）。通过该结构，通过扩散板（6），来自成为热源的蒸发源（3）以及筒状体（4）的辐射热不易传到被蒸镀体（2），所以即使使被蒸镀体（2）接近蒸发源（3）以及筒状体（4），也能够抑制被蒸镀体（2）的温度上升。

主权项

一种连续式蒸镀装置，其特征在于，具备：蒸发源，蒸发将被蒸镀于被蒸镀体的蒸镀材料；筒状体，包围所述蒸发源以及所述被蒸镀体之间的空间，在所述被蒸镀体侧具有开口部；以及修正板，设置于所述筒状体的开口部附近，对从所述筒状体放射的所述蒸镀材料的量进行控制，在比所述修正板更靠所述被蒸镀体侧，设置有辐射热扩散板。