[发明专利]硼酸酯、含硼掺杂剂和制造含硼掺杂剂的方法有效
| 申请号： | 201280040752.X | 申请日： | 2012-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN103748101B | 公开（公告）日： | 2016-10-26 |
| 发明（设计）人： | R.A.斯皮尔;E.W.小拉特;L.M.梅丁;H.X.徐 | 申请（专利权）人： | 霍尼韦尔国际公司 |
| 主分类号： | C07F7/04 | 分类号： | C07F7/04;C07F5/02;H01L21/203;H01L29/167 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 赵苏林;万雪松 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 在本文中提供硼酸酯、含硼掺杂剂和制造含硼掺杂剂的方法。在一个实施方案中，硼酸酯包含硼和硅，其中硼通过经由酯键与硼和硅都键合的烷基连接到硅上。制造含硼掺杂剂的方法包括提供硼酸酯(盐)（borate）并使用多元醇取代的硅单体酯交换该硼酸酯(盐)。 | ||
| 搜索关键词： | 硼酸 掺杂 制造 方法 | ||
【主权项】：
包含硼和硅网络的硼酸酯，其中硼通过经由酯键与硼和硅都键合的烷基连接到硅上。
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