[发明专利]配线缺陷检测方法和配线缺陷检测装置无效
| 申请号： | 201280040898.4 | 申请日： | 2012-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN103765202A | 公开（公告）日： | 2014-04-30 |
| 发明（设计）人： | 柳濑正和 | 申请（专利权）人： | 夏普株式会社 |
| 主分类号： | G01N25/72 | 分类号： | G01N25/72;G01R31/02;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京市隆安律师事务所 11323 | 代理人： | 权鲜枝 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供使用红外线相机分多次拍摄面板时能够恰当地进行缺陷检测的配线缺陷检测方法和装置。本发明所涉及的配线缺陷检测方法取得各检查区域和与各检查区域对应的焊盘的对应关系。本发明所涉及的配线缺陷检测装置具备焊盘切换单元，该焊盘切换单元基于该对应关系，将进行供电的焊盘切换为与各检查区域对应的焊盘。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 检测 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种配线缺陷检测方法，用于通过利用红外线相机拍摄具有多个焊盘和配线的面板来检测上述配线的缺陷，其特征在于，包含：存储工序，将对应关系数据存储于数据存储部，上述对应关系数据是使根据上述红外线相机的拍摄视野区域将上述面板分割为多个而得到的各检查区域和上述多个焊盘中的与各检查区域对应的焊盘相对应而得到的；焊盘切换工序，使上述面板和上述红外线相机的相对位置变化，并且基于红外线相机的拍摄视野区域的位置和保存于上述数据存储部的上述对应关系数据，切换进行供电的焊盘；电压施加工序，经由在上述焊盘切换工序中切换到的焊盘向与该焊盘对应的上述配线施加规定的电压；以及缺陷检测工序，利用上述红外线相机拍摄包含在上述电压施加工序中施加了上述电压的配线的检查区域，检测上述配线的缺陷。
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