[发明专利]用于保护连接到射频发生器的无源组件的方法和装置有效
| 申请号： | 201280042209.3 | 申请日： | 2012-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN103875056B | 公开（公告）日： | 2017-04-12 |
| 发明（设计）人： | C·弗里奇;E·曼;G·塞弗特 | 申请（专利权）人： | 通快许廷格两合公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司72002 | 代理人： | 张扬,王英 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 用于保护连接到射频发生器（11、11.1、51、52）的无源组件（14、53、54）的方法，包括以下的方法步骤a.利用射频发生器（11、11.1、51、52）在基频处产生射频功率；b.通过射频电缆（14、53、54）向负载（16）输送所述射频功率；c.确定与连接到所述RF发生器的至少一个无源组件特别是射频电缆（14、53、54）上的射频负载相关的变量；d.将所确定的变量与描述至少一个连接的无源组件上的最大负载的参考变量相比较；e.基于比较结果来调整由所述射频发生器（11、11.1、51、52）在所述基频处产生的射频功率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 保护 接到 射频 发生器 无源 组件 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种用于保护连接到高频发生器(11、11.1、51、52)的无源组件的方法，所述方法包括以下步骤：a.利用所述高频发生器(11、11.1、51、52)在基频处产生高频功率；b.通过高频电缆(14、53、54)向负载(16)输送所述高频功率；c.确定与连接到所述高频发生器(11、11.1、51、52)的至少一个无源组件的高频负载相关的变量；d.将所确定的变量与描述在至少一个连接的无源组件上的最大负载的参考变量相比较；e.基于比较结果来调整由所述高频发生器(11、11.1、51、52)在所述基频处产生的所述高频功率。
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