[发明专利]气体分析装置及其使用的污垢检测方法

摘要

本发明提供气体分析装置及其使用的污垢检测方法。气体分析装置包括：气体注入机构（3），向试样气体流动的流动通道（11）中注入吸附性的注入气体；气体测量机构（21），能测量与在所述流动通道（11）中流动的吸附性气体的量相关联的值；污垢判断部（41），根据由所述气体测量机构（21）测量出的与所述吸附性气体的测量响应速度相关联的值，判断所述流动通道中的污垢。由此，在吸附性气体的测量中，即使在少量的污垢也有很大影响的情况下，也可以高灵敏度地检测出吸附性气体。

主权项

一种气体分析装置，其特征在于包括：气体注入机构，向试样气体流动的流动通道中注入吸附性的注入气体；气体测量机构，能测量与在所述流动通道中流动的吸附性气体的量相关联的值；以及污垢判断部，根据由所述气体测量机构测量出的与所述吸附性气体的测量响应速度相关联的值，判断所述流动通道中的污垢。