[发明专利]电离-真空测量单元

摘要

一种电离-真空测量单元包括：a)带有用于待测量的真空的测量接口(8)的可抽真空的壳体(10)；b)外部的第一电极和内部的第二电极(3,4)，其以共同地轴线(7)彼此同轴地且相间隔地布置，由此在这两个电极之间构造有测量室(20)，其与测量接口(8)连通；c)电压源(16)，其与电极(3,4)相连接；d)电流测量器件(17)，用于评估在电极(3,4)之间构造的放电电流；e)至少一个永磁体环(1)，其包围电极(3,4)的同轴组件，带有径向于轴线取向的磁化方向(13)且带有包围该永磁体环(1)的软磁轭(2)，其中，轭(2)在轴向上在两侧引导远离永磁体环(1)并且在与永磁体环(1)的预设的间距(d)之后在两侧上在径向上朝向轴线(7)和第一电极(3)来引导，这样使得轭(2)在两侧、与永磁体环(1)相间隔地构造两个环形的极(9a,b)，永磁体环(1)的场线的至少一部分经由其在测量室(20)内穿过电极(3)地闭合。

主权项

 一种电离‑真空测量单元，其包括：a)可抽真空的壳体(10)，其带有用于待测量的真空的测量接口(8)，b)第一电极和第二电极(3, 4)，其彼此大致同轴地且相间隔地布置并且带有共同的轴线(7)，由此在这两个电极之间构造有测量室(20)，其与所述测量接口(8)连通地布置，其中，所述第一电极(3)形成外部电极并且其大致具有柱状的面，c)电压源(16)，其与所述电极(3, 4)相连接，d)电流测量器件(17)，其用于评估在所述电极(3, 4)之间构造的放电电流，其中，所述放电电流形成待测量的真空压力的函数，e)至少一个永磁体环(1)，其包围所述电极(3, 4)的同轴组件，其带有大致径向于所述轴线取向的磁化方向(13)且带有包围该永磁体环(1)的软磁轭(2)，其特征在于，所述轭(2)在轴向上在两侧被引导远离所述永磁体环(1)并且在与所述永磁体环(1)的预设的间距(d)之后在两侧上在径向上朝向所述轴线(7)和所述第一电极(3)来引导，其中，该第一电极(3)形成所述电极(3, 4)的同轴组件的处在外面的电极，这样使得所述轭(2)在两侧且与所述永磁体环(1)相间隔地构造两个环形的极(9a, b)，所述永磁体环(1)的场线的至少一部分经由所述极(9a, b)在所述测量室(20)内穿过所述第一电极(3)地闭合，其中，在所述测量室(20)内在所述第一电极(3)之上优选地构造有环形的隧道式的磁场(14)。