[发明专利]用于在热压接工艺中控制加热元件的温度的装置和方法

摘要

公开了一种用于在热压接工艺中控制热压接合机中的加热元件的温度的装置和方法。应用输入温度曲线以将热量施加到热压接合机中的加热元件。所述热压接合机的控制器可以被配置为接收对应于所述加热元件的温度的加热元件温度信号。可以在所述控制器中基于所述加热元件温度信号和对应于所述输入温度曲线的输入温度信号来产生温度补偿曲线。可以在所述控制器中基于所述温度补偿曲线来控制到所述加热元件的功率输入。

主权项

一种控制热压接合机中的加热元件的温度的方法，用以补偿热压接工艺中的热损失，所述热压接工艺包括将输入温度曲线应用到所述加热元件以将热量施加到待接合的基板组件，所述方法包括：a）在控制器中接收对应于所述加热元件的温度的加热元件温度信号；b）在所述控制器中基于所述加热元件温度信号和对应于所述输入温度曲线的输入温度信号来产生温度补偿曲线；以及c）基于所述温度补偿曲线来控制对所述加热元件的功率输入；其中所述输入温度曲线是基于所述基板组件中的接合线的目标温度曲线的。