[发明专利]用于将硅切割成在化学气相沉积多晶硅反应器中使用的籽晶杆的锯有效
| 申请号： | 201280044791.7 | 申请日： | 2012-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN103813891A | 公开（公告）日： | 2014-05-21 |
| 发明（设计）人： | R·博沃;P·莫里诺 | 申请（专利权）人： | MEMC电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/02 | 分类号： | B28D5/02 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 牛晓玲;马江立 |
| 地址： | 意大利*** | 国省代码： | 意大利;IT |
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| 摘要： | 本发明涉及用于将硅切割成在化学气相沉积多晶硅反应器中使用的籽晶杆的锯。本发明还提供了将硅切割成在化学气相沉积多晶硅反应器中使用的籽晶杆的系统和方法。一种方法包括用锯片将硅锭切割成硅片、旋转硅片并将硅片切割成用于在化学气相沉积多晶硅反应器中使用的尺寸较小的硅籽晶杆。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 切割 化学 沉积 多晶 反应器 使用 籽晶 | ||
【主权项】：
一种利用锯将硅锭切割成多个较小的硅锭的方法，该较小的硅锭用作化学气相淀积多晶硅反应器中的硅籽晶杆，所述锯包括与至少一个马达连接的多个锯片包，所述锯片能沿着连接至锯的框架的轨道移动，所述方法包括：利用所述多个锯片包中的一个锯片包将硅锭切割成多个硅片，其中所述锯片包在切割硅锭过程中以第一速率沿轨道移动；使所述多个硅片旋转90度；以及利用所述锯片包将所述多个硅片切割成多个尺寸较小的硅籽晶杆，该硅籽晶杆用于在化学气相沉积多晶硅反应器中使用，其中所述锯片包在切割多个硅锭过程中以不同于所述第一速率的第二速率沿着轨道移动。
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